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コンタクトパーソン :
Wang Hong
低分散性高電圧 ドアノブコンデンサータ 高耐電圧とRF電源の絶縁抵抗
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x商品の詳細
| ハイライト | 低分散 高電圧 ドアノブ コンデンサ,高圧耐電電源コンデンサ,高隔熱抵抗HV ドアノブコンデンサ |
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|---|---|---|---|
製品の説明
RF電源用高電圧ドアノブコンデンサ
技術仕様
| いいえ。 | 仕様 | 散逸 | 耐電圧 | 絶縁抵抗 | 寸法(mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 20kV-2000pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:45 | H:19 |長:23 | D:12 | M:5 |
| 2 | 20kV-10000pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:65 |高:15 |長:19 | D:12 | M:5 |
| 3 | 20kV-18000pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:80 | H:17 |長:25 | D:12 | M:5 |
| 4 | 30kV-1000pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:45 |高:24 |長さ:32 | D:12 | M:4 |
| 5 | 30kV-2700pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:60 |高:20 |長:28 | D:12 | M:4 |
| 6 | 30kV-12000pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:45 | H:19 |長:23 | D:12 | M:5 |
| 7 | 40kV-150pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:74 |高:18 |長:26 | D:12 | M:5 |
| 8 | 40kV-500pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:28 |高:33 |長さ:41 | D:8 | M:4 |
| 9 | 40kV-7500pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:80 |高:24 |長:29 | D:12 | M:6 |
| 10 | 40kV-10000pF | ≤0.0040 | 1.5Ur● 1分 | ≥1.0×105MΩ | D:80 |高:22 |長:26 | D:16 | M:5 |
PECVD装置への応用
当社の高電圧ドアノブ コンデンサは、半導体、太陽光発電、および光学コーティング産業に不可欠なプラズマ化学蒸着 (PECVD) 装置に安定した高電圧を提供します。これらのコンデンサは、効率的な RF 電源性能により安定した均一なプラズマを維持することで、高品質な薄膜の低温成膜を可能にします。
解決された技術的課題
- インピーダンスマッチング:動的に変化するプラズマ負荷への効率的な電力結合
- 高RF電力処理:高周波および電圧による電気的ストレスに耐えます
- 熱管理:誘電体と電極の損失による熱の蓄積を最小限に抑えます。
- 長期安定性:堆積速度と膜品質に影響を与える静電容量のドリフトを防止
ソリューション: 高 Q、低 ESR ドアノブ コンデンサ
- 効率的な電力伝達:低 ESR により、高 RF 電流による発熱を最小限に抑えます
- 熱安定性:温度補償されたセラミック誘電体が安定した静電容量を維持します
- 高い信頼性:頑丈な構造により、要求の厳しい RF 条件でも長寿命を保証します
お客様のメリット
- 安定したインピーダンスマッチングによりフィルムの品質と一貫性が向上
- プロセスの中断を減らして生産性と歩留まりを向上
- エネルギー消費とメンテナンスの削減による運用コストの削減
当社の高電圧ドアノブ コンデンサは、PECVD 装置の「インピーダンス ハーモナイザー」として機能し、優れた薄膜製造のための正確な原子レベルの堆積を可能にします。
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